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    設備展示

    shebeizhanshi

    藍寶石406

    外型尺寸2.0*2.0*2.5米
    有效鍍膜空間590*400毫米
    抽氣系統分子泵+機械泵
    電源

    50KW,380V,50HZ,3PHASE

    偏壓高頻脈沖電源
    靶源數

    4,磁控濺射 1~3,離子源 1~3

    控制系統可編程控制器+電腦
    鍍膜工藝溫度80~180度
    典型涂層濺射TiN氮化鈦,濺射CrN氮化鉻,DLC類(lèi)金剛石等等單層,復合,納米涂層


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