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    設備展示
    
                
    shebeizhanshi
    
            
    
        
    
    
    

    

    
    
    
        
    
            
    
                
    
                    
                
    
                
    
                    
    藍寶石406
    
                    
    
                        
    外型尺寸2.0*2.0*2.5米
    有效鍍膜空間590*400毫米
    抽氣系統分子泵+機械泵
    電源
    50KW,380V,50HZ,3PHASE
    偏壓高頻脈沖電源
    靶源數
    4,磁控濺射 1~3,離子源 1~3
    控制系統可編程控制器+電腦
    鍍膜工藝溫度80～180度
    典型涂層濺射TiN氮化鈦，濺射CrN氮化鉻，DLC類金剛石等等單層，復合，納米涂層

                        
    
                
    
                
    
            
    
            
    
        
    
    
    

    







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